旋轉(zhuǎn)芯片機(jī)械泵主要由泵體和電機(jī)兩部分組成。耐腐蝕自吸泵其過(guò)流部件全部采用目前世界上耐腐蝕性能最優(yōu)秀“塑料王”制造，泵體采用金屬外殼內(nèi)襯聚全氟乙丙烯，泵蓋、葉輪均用金屬嵌件外包氟塑料整體燒結(jié)壓制而成，隔離套采用特殊材料制造，具有高強(qiáng)度的力學(xué)性能，消除了普通磁力泵存在的磁渦流現(xiàn)象。自吸泵它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、運(yùn)行平穩(wěn)、維護(hù)容易、效率高、壽命長(zhǎng)，并有較強(qiáng)的自吸能力等優(yōu)點(diǎn)。管路不需安裝底閥，工作前只需保證泵體內(nèi)儲(chǔ)有定量引液即可。不同液體可采用不同材質(zhì)自吸泵。泵體中有一個(gè)圓柱型型腔，整個(gè)型腔都放置在油箱中。自吸泵它具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、運(yùn)行平穩(wěn)、維護(hù)容易、效率高、壽命長(zhǎng)，并有較強(qiáng)的自吸能力等優(yōu)點(diǎn)。管路不需安裝底閥，工作前只需保證泵體內(nèi)儲(chǔ)有定量引液即可。不同液體可采用不同材質(zhì)自吸泵。腔體配有通風(fēng)管和水平耐酸基自吸泵門，腔內(nèi)有一個(gè)偏心安裝的圓柱形轉(zhuǎn)子，由泵體外的電機(jī)驅(qū)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)器上有兩個(gè)凹槽，凹槽上安裝兩個(gè)渦流，旋轉(zhuǎn)板之間有一個(gè)彈簧，當(dāng)旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)時(shí)，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)板的頂部總是滑向型腔的內(nèi)壁，在旋轉(zhuǎn)器和腔內(nèi)壁之間形成動(dòng)態(tài)密封。

　旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)時(shí)的幾個(gè)典型工作位置。在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，渦流將空腔和旋轉(zhuǎn)器之間的彎曲的月形體積分為兩部分（有時(shí)是三個(gè)部分）：一部分是連接出口閥的排氣腔，另一個(gè)是連接內(nèi)管的吸氣腔。在上一個(gè)工作周期中逐漸壓縮吸入氣體的同時(shí)吸氣。吸氣切斷（此時(shí)吸氣腔最大）將開(kāi)始?jí)嚎s。吸氣腔再次吸入，排氣腔繼續(xù)壓縮。排氣腔中的氣體被壓縮到多個(gè)大氣的壓力，因此它可以打開(kāi)排水防酸自吸泵門并逃逸到大氣中，吸氣腔開(kāi)始下一次吸入。所以來(lái)回。

　工作時(shí)，輪回隨渦流連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體不斷排出以完成泵送動(dòng)作。玫瑰花帶速度一般為 450 至 1400r/min。如果旋轉(zhuǎn)速度較快，泵送速度越大，但在高速下泵內(nèi)溫度較高，保證密封難度較大。為了確保排氣和吸氣腔之間沒(méi)有泄漏，使用蒸汽壓力低和一定粘度的機(jī)械泵油作為密封填充間隙。泵油的其他三個(gè)功能是潤(rùn)滑、冷卻和幫助在低排氣水平下打開(kāi)出口閥。機(jī)械泵油通過(guò)特殊的油路進(jìn)入人體泵腔。因此，此泵也稱為油封旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵。

　上述單級(jí)泵一般可獲得極限壓力P約為1Pa，這主要受羅頓密封和腔接觸區(qū)泄漏的限制，漏氣量直接小于密封現(xiàn)場(chǎng)兩側(cè)的壓力差。單級(jí)泵的這種壓力差是大氣壓力。為了減少這種壓力差，提高極限真空，旋轉(zhuǎn)芯片機(jī)械泵一般采用兩級(jí)泵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)泵以相同的速度和方向以相同的速度和方向輪流旋轉(zhuǎn)，當(dāng)前泵處于吸力位置時(shí)，后泵就在排氣中，從而減少后泵圈和腔接觸區(qū)密封之間的壓力差。

　兩級(jí)泵可以達(dá)到的極限壓力約為 10-2Pa 級(jí)，這主要取決于泵油的飽和蒸汽壓力以及油在使用過(guò)程中受到的污染和裂變。兩級(jí)泵結(jié)構(gòu)主要用于提高泵的P值，這有助于提高泵的最大泵送速度，但可以改善泄漏后在低壓下泵速。